Original
Par Certification 
matériaux de niobium usinée de haute pureté
produits iobium usiné
1. niobium sputteringtarget, disque de Niobium
2. matériel : RO4200-1, RO4210-2
3. forme : rectangle, circulaire, rotatif
4. taille : tube OD cible L 20-160MM * L 2000 MM
Objectifs de la circulaires : diamètre 10mm jusqu'à 400 mm d’épaisseur 2 mm à 28 mm
Cibles rectangulaires : épaisseur 1mm jusqu'à 20.32mmx largeur jusqu'à 800 mm x longueur jusqu'à 3000 mm
Pureté : andgt;=99.99% ou 99,95 %
Paramètre de technologie
Recristallisation |
95 % min |
Taille de grain |
ASTM 4 ou plus fine |
Finition de surface |
16Rms max. ou Ra 0,4 (RMS64 ou mieux) |
Planéité |
0,1 mm ou 0,15 % max |
Tolérance |
+/-0 .010andquot ; sur toutes les dimensions |
Composition chimique :
% De chimie | |||||||||||||
Désignation |
Composant principal |
Impuretés maximales |
|||||||||||
N.-b. |
Fe |
Si |
Ni |
W |
Mo |
TI |
Ta |
O |
C |
H |
N |
||
Nb1 |
Reste |
0.004 |
0.003 |
0.002 |
0.004 |
0.004 |
0.002 |
0.07 |
0.015 |
0.004 |
0.0015 |
0.002 |
|
NB2 |
Reste |
0.02 |
0.02 |
0.005 |
0.02 |
0.02 |
0.005 |
0.15 |
0.03 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
|
